超纯水设备是经预处理、反渗透膜、EDI、混床、紫外线杀器等设备组合，把水中的导电离子、不离解的胶体物质、气体及有机物去除至极低含量的水。出水水质电阻率大于15～18MΩ·cm极限值。超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10MΩ·cm以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水最高能达到18.25MΩ·cm。

     原水 → 原水箱 → 原水泵 →石英砂过滤器→活性炭过滤器 →软水器 →精密过滤器 → 一级高压泵 → 一级反渗透（RO）装置 → 中间水箱 →混床→超纯水箱→超纯水泵→微孔过滤器→用水点 ；

 

      第一种采用传统工艺，离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方小，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，废酸碱又要进行环保处理，而且对环境有一定的破坏。

　    第二种采用新工艺，反渗透膜作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长很多，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

 第三种采用最新工艺，反渗透膜作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水最经济，最环保用的超纯水工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，水质稳定容易实现全自动控制，不会因再生而停机，运行费用低占地面积小无污水排放，对环境没有破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式投资大。

 随着科学技术的发展，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，反渗透法制取高纯水已经普及，也是现今优先采用的工艺。

 

1. 医药、食品等工业中纯水、超纯水的制备；

2.汽车、家电涂装、镀膜玻璃、化装品、纸巾、精细化学等工艺用水制备；

3. 化纤、化工行业工艺用水，冶炼、化工循环水的净化与制备；

4. 食品、饮料工业用水、饮用纯净水、白酒、啤酒、保健品等用水的制备；

5. 电力锅炉补给水，供热、供电发电锅炉、厂矿、宾馆中低压锅炉补给水的脱盐处理；

6. 苦咸水、海水的脱盐淡化用于生活饮用水、工业用水；

7.小区物业、学校、工厂、医院、宾馆、企事业单位水净化等；

8. 电子工业集成电路、硅晶片、显示器等电子元器件冲洗水；

9. 制药行业用水大输液、针剂、片剂、生化制品、设备清洗等；